性能特點(diǎn) 

1、更新設(shè)計的 MLP 系列產(chǎn)品是搭載有高速旋轉(zhuǎn)載臺及自動對焦功能的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型 

2、具有 3D 測量和評估功能，可以無損無破壞的測量多種產(chǎn)品的 形狀、表面形貌、表面粗糙度、輪廓/尺寸評估、齒輪測量（選配）、 刀具刃口評價（選配） 

3、 高精度的大測量范圍 

技術(shù)參數(shù) 

1、移動范圍(X, Y, Z, AF(R)， AZ(θ))：X:60mm Y:60mm Z:60mm AF(R) 40mm AZ(θ) 360 

2、X-Y 軸分辨率：0.1um 

3、z 軸分辨率：0.1um 

4、R 軸分辨率：0.01um 

5、激光點(diǎn)直徑：1um 

6、激光：半導(dǎo)體激光(o/p: 1mW Max. λ= 635nm)